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计算机硬盘是一种常用的磁性记录载体,它由磁头和磁盘两大部分组成。一个硬盘至少包括一个磁头和一个磁盘。磁盘一般由四个部分组成,即基盘(铝镁合金或玻璃)、底层、磁记录层和炭保护层。物理气相沉积技术是硬盘盘片的主要涂覆技术,利用不同的靶材产品在真空镀膜系统中在铝合金或玻璃基片上涂覆复合膜层以实现数据存储的功能。盘片上的记录层、软磁层、中间层、保护层等等都是利用这种技术层层堆叠而成。其中软磁层主要用到镍基、钴基多元合金磁性靶材。

硬盘生产涉及靶材品种也很多,例如记录层中主要需要含Pt的多元合金靶和一些陶瓷靶,如CoCrPtB靶、SiO2等。中间层主要用到Ru及其合金靶。而软磁底层材料主要用到一些非贵金属靶,主要有Cr及Cr合金、Ni及NiW合金、CoFe合金等。


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